日本thermal測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率

產(chǎn)品型號(hào)： TM3

所屬分類：

產(chǎn)品時(shí)間：2025-08-03

簡(jiǎn)要描述：日本thermal測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3
熱物理性質(zhì)顯微鏡是一種測(cè)量熱導(dǎo)率的裝置，熱導(dǎo)率是熱物理性質(zhì)值之一。
它是一種可以通過點(diǎn)，線和表面來測(cè)量樣品的熱性能的設(shè)備。
也可以測(cè)量微米級(jí)的熱物理性質(zhì)值的分布，這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測(cè)量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。

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詳細(xì)說明：

日本thermal測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3

特征

熱物理性質(zhì)顯微鏡是一種測(cè)量熱導(dǎo)率的裝置，熱導(dǎo)率是熱物理性質(zhì)值之一。
它是一種可以通過點(diǎn)，線和表面來測(cè)量樣品的熱性能的設(shè)備。
也可以測(cè)量微米級(jí)的熱物理性質(zhì)值的分布，這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測(cè)量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
它是*yi款能夠進(jìn)行非接觸式高分辨率熱性能測(cè)量的設(shè)備。
利用檢測(cè)到的3μm的光斑直徑，可以在高分辨率的微小區(qū)域中測(cè)量熱物理性質(zhì)（點(diǎn)/線/表面測(cè)量）。
由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量，因此可以測(cè)量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
您也可以測(cè)量基材上的樣品。
激光非接觸式測(cè)量。
可以檢測(cè)薄膜下方的裂縫，空隙和剝離。

熱物理顯微鏡的測(cè)量原理（概述）

在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。

由于金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的性質(zhì)（熱解法），因此通過捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測(cè)激光器的反射強(qiáng)度的變化，來測(cè)量表面的相對(duì)溫度變化。去做。
熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測(cè)量加熱光和檢測(cè)光之間的相位延遲來獲得熱滲透率。?

日本thermal測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3

主要規(guī)格

名稱/產(chǎn)品名稱	熱物理顯微鏡/熱顯微鏡
測(cè)量方式	熱物理性質(zhì)分布測(cè)量（1維，2維，1點(diǎn)）
測(cè)量項(xiàng)目	熱滲透率，（熱擴(kuò)散率），（熱導(dǎo)率）
檢測(cè)光斑直徑	約3μm
1點(diǎn)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間	10秒
待測(cè)薄膜	厚度幾百納米到幾十微米
重復(fù)精度	耐熱玻璃，硅的熱滲透率小于±10％
樣品	1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm 2.板狀樣品30mm x 30mm以內(nèi)，厚度3mm以內(nèi) 需要對(duì)樣品表面進(jìn)行鏡面拋光。樣品表面需要進(jìn)行Mo濺射。
工作溫度極限	24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器）
平臺(tái)移動(dòng)距離	? X軸方向20mm ? Y軸方向20mm ? Z軸方向10mm
加熱激光	半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)：808nm
檢測(cè)激光	半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)：658nm
電源供應(yīng)	交流100V 1.5kVA
標(biāo)準(zhǔn)配件	樣品架，參考樣品
選項(xiàng)	光學(xué)壓盤，空調(diào)，空調(diào)房，飛濺裝置