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日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統(tǒng)Profilm 3D 它是一個使用白光干涉技術的系統(tǒng)，可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。 Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產品更緊湊、更便宜。

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