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      適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析

      發(fā)布時間:2024-11-25 點擊量:1123

      適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析


      這是配備光譜儀的標準型號,非常適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計。可以進行非接觸式測量,因此您不必注意涂層工作表面。

      它涵蓋了廣泛的測量波長和可測量的薄膜厚度。

      可測量波長:380nm~1050nm
      可測量膜厚:100nm~60μm

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      反射分光膜厚計AFW-100W


      反射分光式膜厚計測量原理

      當光線照射在透明薄膜上時,在薄膜表面反射的光(R1)與在薄膜內部折射并在基材表面反射的光(R2)重疊,導致光線增強或減弱。

      這種現(xiàn)象稱為“光干涉" 。當光的相位匹配時,強度增加,而當相位偏移時,強度減小。

      右圖是“光干涉"的圖像。 “反射分光膜厚計"是通過分析該光的干涉(波長)來測量膜厚的方法。

      反射光譜膜厚測量原理


      計算理論

      C/F(曲線擬合)

      求使測量反射率與理論反射率之差的平方最小的膜厚值。

      推薦在波紋數(shù)為3個以下時使用(膜厚約1μm)。

      FFT(快速傅里葉變換)

      通過FFT計算確定某一波長寬度內表示膜厚的干涉波形的數(shù)量,并由此導出一個周期的波長寬度。

      建議在有3個或更多波紋時使用(膜厚約1μm)。

      模型AFW-100W
      目的一般膜厚用
      設備配置單元主體、測量臺、分支光纖(1.5m)、PC、膜厚測量樣品
      測量波長范圍380nm~1050nm
      膜厚測量范圍100nm至1μm(曲線擬合法)
      1μm~60μm(FFT法)
      測量重復性0.2%至1%(取決于膜質量)
      測量光斑直徑約7毫米
      光源12V-50W 鹵素燈
      測量理論曲線擬合法/FFT法
      外形尺寸(毫米)機身:W230 x D230 x H135
      測量臺:W150 x D150 x H115
      大約重量5.5kg *不包括電腦
      公用事業(yè)交流100V 50/60Hz
      消耗品鹵素燈



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