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      Product center

      200℃兼容半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17的特點(diǎn)

      發(fā)布時間:2022-11-18 點(diǎn)擊量:1288

      200℃兼容半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17的特點(diǎn)

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      兼容ZT17_200℃半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器

      支持高達(dá) 200°C 的測量!
      用于半導(dǎo)體制造過程中高溫應(yīng)用的壓力傳感器

      特征

      ●高達(dá)200°C的高溫測量 

      ●在高溫測量中實(shí)現(xiàn)高精度 

      不使用密封液體的安全可靠結(jié)構(gòu) 

      ●與專用放大器 組合使用

      搭載200℃高溫測量新開發(fā)的壓力傳感器元件,對應(yīng)200℃測量

      實(shí)現(xiàn)高精度的高溫測量溫度特性ZERO:±1.0%F.S.SPAN:±3.0%F.S.(溫度補(bǔ)償范圍15~200℃)

      將測量氣體的滯留抑制到最小限度,適用于氣體供給系統(tǒng)的焊接結(jié)構(gòu)特殊表面處理技術(shù)

      使用溫度范圍

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      運(yùn)用程序

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      支持超臨界清洗、氣化裝置等半導(dǎo)體制造工藝的高溫用途

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      通過適用于半導(dǎo)體氣體供給系統(tǒng)焊接結(jié)構(gòu)和特殊表面處理技術(shù)

      將測定氣體的滯留控制在最小限度。

      日本naganokeiki長野計器半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17


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